Sefydliad Lled-ddargludyddion Cyfansawdd

Mae’r Sefydliad Lled-ddargludyddion Cyfansawdd (ICS) yn gysyniad arloesol sy'n gweithio ar y groesffordd rhwng y byd academaidd a diwydiant, gan gynnig cyfleusterau saernïo a phrofi o'r radd flaenaf i ddefnyddwyr gael datblygu a phrofi eu hymchwil, a'i baratoi i’w gael ei ddatblygu gan ddiwydiant.

Offer

Enw	Brand/model	Manylion
Anweddydd 4	Lesker, Pro Line PVD200	System ddyddodi haen denau - metelau thermol neu belydr-e - Al, Au, Ag, Cr, Zn, Ti, Ni. Tasgiad- Al, ITO a NiCr
Anweddydd 5	Lesker, Pro Line PVD200	System ddyddodi haen denau gyda system UHV Egun - metelau thermol neu belydr-e - Al, Au, Ti, Pt, Ni, AuGe
Anweddydd 6	BUHLER, Boxer, anweddydd deuelectrig	gyda gwn pelydr-e - metelau thermol neu belydr-e - Al, Au, Ti, SiO2. Tasgiad- SiO2 a SiN
Offeryn ysgythru ICP-RIE	Oxford Instruments, PlasmPro 100 Cobra 300	Offeryn ysgythru plasma - ysgythru III-V, GaN, SiN
Tymherydd Thermol Cyflym	JIPELEC, Prosesydd RTP Jetfirst 300 3 x 400V.	Mae’n tymheru cysylltiadau lled-ddargludyddion metel dros 300mm gydag awyrgylch N2 neu O2 rheoledig. Rheoli tymheredd thermocwpl neu byromedr hyd at 1200 °C.
Offeryn alinio mwgwd 6"	SÜSS MicroTec, Offeryn Alinio Mwgwd MA6	Offeryn ffotolithograffig gyda lamp UV 1000W Hg. Moddau cyswllt meddal, caled, gwactod a gwactod meddal.
Ffwrnais Ocsideiddio Gwlyb	AET, ffwrnais ALOX	gyda siambr 6” â deunydd trosi egni
SEM Cydraniad Uchel	Hitachi, Regulus8230	Delweddu SEM cydraniad uchel, gyda synwyryddion EDX X-Flash a FlatQuad.
Delweddwr Axio	Zeiss, Z2 Vario	Microsgop o ansawdd uchel ar gyfer delweddu a mesur dimensiynau critigol dros 200mm. Mapio lled-awto ar gael.
Dyddodi Haen Atomig (ALD)	Beneq, ALD, System Haen Denau TFS200*	Dyddodi ALD TiO2, TiN, Ta2O5, Al2O3, ZnO, SiO2, SiN, NiO, ITO, MoO.
Diffreithomedr Pelydr-X (XRD)	X'Pert3 MRD XL.	Nodweddu dyfeisiau optoelectronig sy'n seiliedig ar haen denau.
Anweddydd 7	Moorfield - minilab ET80A	System PVD â siambr lwytho gyda pharatoad at lanhau tasgiad Ar. Mae’n addas ar gyfer samplau wafferi sydd hyd at 6", sydd â galluoedd thermol a phelydr-e.
Anweddydd 8	Moorfield - minilab S060M	System PVD siambr agored, sy'n addas ar gyfer samplau wafferi sydd hyd at 6", gyda galluoedd tasgu.
Offeryn alinio mwgwd 4"	SÜSS MicroTec, Offeryn Alinio Mwgwd MJB4	Mae'r MJB4 yn offeryn alinio amlbwrpas a hyblyg ar gyfer trin swbstradau safonol ac ansafonol.
Offeryn alinio mwgwd 8"	SÜSS MicroTec, Offeryn Alinio Mwgwd MA08 Gen4	Mwgwd lled-awtomataidd ac offeryn alinio bond gydag opteg lleihau diffreithiant.
SEM bwrdd gwaith	SEM bwrdd gwaith G2 PhenomXL	Microsgop electron sganio (SEM) bwrdd gwaith gyda sbectrosgopeg gwasgaru egni (EDS).
Microsgop Keyence	Keyence VHX-7100	Microsgop digidol gyda chywirdeb uchel 4K.
Glanhawr Mygydau	Glanhawr Mygydau HMx9	Mae'r HMx9 yn cael ei lwytho gyda llaw â phrosesu dilyniannol awtomatig, wedi'i gynllunio ar gyfer mwgwd sydd o ansawdd uchel neu lanhau swbstradau.
System lithograffeg optegol di-fwgwd	Heidelberg, System MLA150	Offeryn lithograffeg optegol di-fwgwd sy'n defnyddio Cyweiriadur Golau Gofodol 2-ddimensiwn i daflu patrymau ar wafferi sydd wedi'u gorchuddio â gwrthydd yn uniongyrchol.
MCS8	SUSS MicroTec, MCS8	System fodylaidd ar gyfer gorchuddio wafferi â ffoto-wrthydd.
Datblygwr Dyfrllyd	SUSS MicroTec, AD12	System brosesu gwlyb â llaw ar gyfer taenu trwy gyfryngau dyfrllyd.
Datblygwr Toddyddion	SUSS MicroTec, SD12	System brosesu gwlyb â llaw ar gyfer swyddogaethau glanhau a chreu a chodi (lift-off) ar gyfer taenu trwy gyfryngau toddyddion.
Proffilomedr	System Uwch DektakXT (DXT-A)	Proffiliwr arwyneb pwrpas cyffredinol sydd ag amlochredd ac ailadroddadwyedd (4 angstrom).
E-linell	RAITH, EBL	Offeryn lithograffeg pelydr electronau.
System lithograffeg pelydr electronau perfformiad hynod uchel	RAITH, EBPG 5200 plus	System lithograffeg pelydr electronau perfformiad hynod uchel 100kV sy'n addas ar gyfer ysgrifennu ar raddfa nano ar amleddau o hyd at 125MHz.
Llif torri 6"	Loadpoint Nanoace 3	Llif torri 6"
Llif torri 8"	ADT, system dorri’n fân 7900 DUO 8"	Llif torri 8"